Fischer, Sebastian:
ISBN 9783899595277

Einfluss der Aufbau- und Verbindungstechnik auf die funktionalen Eigenschaften thermomechanisch belasteter Sensoren. MEMS Technology and Engineering Vol. 4 # Pb., Großformat, 190 S., 127 Abb., 36 Tab.

SCHLAGWORTE:
Aufbau- und Verbindungstechnik
Sensoren
Thermomechanik
Moldmassen
Pressmassen
Mikrosystemtechnik

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