Deier, Erik Julius:
ISBN 9783899597523

Materialbasierte Modellierung der Genauigkeit mikromechanischer Drucksensoren. MEMS Technology and Engineering Bd. 8 # Pb., Großformat (24x17), 144 S., 124 Abb., davon 9 in Farbe, 18 Tab.

SCHLAGWORTE:
Aufbau- und Verbindungstechnik
Drucksensoren
Thermomechanik
Klebstoffe
Viskoelastische Charakterisierung

	^