Friese, Christoph
ISBN 9783899596229

Deformable polymer membrane devices. Development of a fabrication technology for devices, applicable in adaptive optical systems. Research in Micro-optics Vol. 2 # Pb., Großformat (24x17), 252 S., 116 Abb., davon 40 in Farbe, 14 Tab.

SCHLAGWORTE:
Mikrosystemtechnik
Optik
Polymere
daptive Optik
Membranspiegel, deformierbar

Die vorliegende Dissertation beschreibt die Entwicklung, Herstellung und Evaluation deformierbarer Polymer-Membranspiegel (DPMD) für adaptiv optische Anwendungen. Für die Membranen wird eine freitragende Polymerfolie verwendet, die in Bezug auf die Mechanik entscheidende Vorteile gegenüber vergleichbaren Siliziummembranen aufweist. Der Fokus dieser Arbeit liegt auf der Entwicklung einer neuen Herstellungsmethode für diese Elemente. Zusätzlich werden auch ein Messplatz und die dazugehörige Steuersoftware implementiert. Zur Abrundung des Themas werden die Einsatzmöglichkeiten in adaptiv optischen Systemen evaluiert.

The present thesis describes the design, fabrication and evaluation of deformable polymer membrane devices (DPMD) for adaptive optical applications. For the membranes, a freestanding polymer foil is used, featuring essential advantages considering its mechanic behavior in respect to comparable silicon membranes. The focus of this work is the development of a novel fabrication technology for these devices. In addition, an optical test bench and the required control software is implemented. Finally the feasibility for adaptive optical systems is evaluated.

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