Schmid, Silvan:
ISBN 9783899599213

Electrostatically Actuated All-Polymer Microbeam Resonators - Characterization and Application. Scientific Reports on Micro and Nanosystems Vol. 6 # Pb., Großformat (24x17), 254 S., 101 Abb., 7 Tab.

SCHLAGWORTE:
Dielektrische Kraft
Mikroresonatoren, polymere
Dämpfungsmechanismen in MEMS
Materialcharakterisierung
Schwingung, selbsterhaltende
Biomolekülsensor

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