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Mikro- und Nanostrukturierung
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ISBN 9783899597202

Wissen, Matthias:

Thermisches Nanoimprint in UV vernetzende Fotolacke. Mikro- und Nanostrukturierung Bd. 1 # Pb., 136 S., 65 Abb., davon 37 in Farbe, 7 Tab.

SCHLAGWORTE:
Nanoimprint
Lithographie, hybride
Arbeitsstempel
 


EUR 37.90
Menge:



ISBN 9783899597745

Scheer, Hirai, Nishihata, Bogdanski:

Scheer, Hella-Christin, Yoshihiko Hirai, Masayoshi Nishihata und Nicolas Bogdanski:

Polymer elasticity effects during thermal nanoimprint.
Part I: Experimental evidence and simulation.
Part II: Analysis with respect to imprint.
Mikro- und Nanostrukturierung Bd. 2 # Pb., 96 S., 21 Abb., davon 19 in Farbe


SCHLAGWORTE:
rubber elasticity
statistical network theory
Mooney-Rivlin equation
nanoimprint
thermal nanoimprint
elastic effects
visco-elastic effects
shear thinning
 


EUR 27.90
Menge:



ISBN 9783899597806

Bogdanski, Nicolas:

Partial cavity filling in thermal nanoimprint. Mikro- und Nanostrukturierung Bd. 3 # Pb., 138 S., 54 Abb., davon 36 in Farbe, 3 Tab.

SCHLAGWORTE:
Nanoimprint
Lithographie
Restschicht
Recovery
Self-assembly
 


EUR 37.90
Menge:

 
 

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