Kallweit, David:
ISBN 9783899597295

Controlled Tilting Micromirrors. Micromirrors with integrated optical feedback for high-accuracy tilt-sensing. Research in Micro-optics Vol. 5 # Pb., Großformat (24x17), 216 S., 87 Abb., davon 37 in Farbe, 8 Tab.

SCHLAGWORTE:
Mikrospiegel
Verkippung
Rückkopplung
Feedback
Stabilisierung
micromirror
tilt sensing
feedback
control
stabilization

Die vorliegende Forschungsarbeit behandelt Design und Fabrikation von elektrostatisch aktuierten, zweidimensional verkippbaren Mikrospiegeln mit integriertem optischem Feedback. Angefangen mit einem Überblick über den Stand der Technik der verschiedenen gegenwärtigen Aktuierungstechniken, Mikrospiegelanwendungen und Spiegeldesigns, wird das eigene Konzept eines ein- und zweidimensionalen, kardanisch aufgehängten, monokristallinen Mikrospiegels mit monolithisch integriertem Beugungsgitter in Siliziumtechnik vorgestellt. Der Kippwinkel des Mikrospiegels wird bestimmt, indem die kippwinkelabhängige Position der Beugungsintensitätsmaxima mittels eines Positionsdetektors gemessen wird. In Verbindung mit einem dafür entwickelten Software-Interface wurden Echtzeit-Monitoring und optisch rückkopplungsstabilisierte Mikrokippspiegel realisiert. Schließlich werden verschiedene Optimierungsansätze diskutiert und ein Zukunftsausblick präsentiert.


This dissertation concerns the design and fabrication of electrostatically actuated twodimensional micro-mirrors with integrated optical feedback. After a short introduction to micromirror applications and actuation schemes the fabrication and design of the developed two-dimensional monocrystalline micromirror with monolithically integrated diffraction grating is presented. The mirror tilt angle is determined by measuring the induced positional change of the discrete diffraction intensity maxima on a position sensitive detector. In conjunction with a software interface written for that purpose, a realtime monitoring and optical feedback stabilization is realized. Finally, different optimization possibilities are

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