Schneider, Florian:
ISBN 9783899598599

Adaptive Silikon-Membranlinsen mit integriertem Piezo-Aktor. Microactuators - Design and Technology Vol. 1 # Pb., 190 S., 141 Abb., davon 7 in Farbe, 18 Tab., Großformat
SCHLAGWORTE:
Adaptive Optik
Piezo-Pumpaktor
Silikon
Brennweitenvariation

Autofokussysteme sind selbstverständlicher Bestandteil in zahlreichen Anwendungen, wie automatischen Identifikationssystemen, Koordinatenmessgeräten, vollautomatischen Mikroskopen sowie in medizinischen Endoskopen. In der Regel wird die Brennweite in solchen Autofokussystemen durch eine Variation des Abstandes von zwei oder mehreren Linsen geregelt. Dabei ist die mechanisch genaue Positionierung der Linsen sehr aufwändig und somit kostspielig. Alternativ dazu wird in dieser Arbeit zur Reduktion der Herstellungskosten die erste adaptive Silikon-Membranlinse mit integriertem piezoelektrischem Pumpaktor vorgestellt. Das opto-mechanische System besteht im Wesentlichen aus zwei Komponenten; einer Linse und einem Pumpaktor, welche auf einem Glassubstrat miteinander verbunden sind. Untersucht wird der Einfluss der Linsenorientierung, der Linsenbrennweite sowie der Membrandicke und Membranform auf die optische Linsenqualität. Die Optimierung des Pumpaktors wird durch die Variation der Kammer- sowie der Biegewandlergeometrie durchgeführt. Zur Untersuchung des Gesamtsystems wird das spannungs- und zeitabhängige Brechkraftverhalten, die elektrische Leistungsaufnahme sowie die Langzeitstabilität analysiert.

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